针对智慧城市中对气体传感器低功耗、高可靠性、轻量化的要求，为满足该领域常见气体检测的监测要求，项目提出基于纳米金属氧化物材料的微纳气体传感器，该传感器集成了纳米材料优良的气敏特性与MEMS的精密结构，在解决精确掺杂和温度控制基础上，实现对各类氧化还原性气体，O2、H2、甲醛、CH4等的检测，且具有微功耗、轻量化、低成本及高选择性和灵敏度的特点。
关键技术包括：传感器的总体方案设计；纳米TiO2、SiO2等薄膜材料制备工艺与表征及工艺参数与形貌、晶体类型之间的关系研究；在气敏性能的测试基础上，研究掺杂、物相、温度、形貌等对纳米薄膜气敏特性的影响方式；研究纳米薄膜与加热器、电极等集成在一起的非标准工艺，并使器件成品率高、一致性好；研制出低功耗、高灵敏度、高选择性的高端气体传感器；研究传感器外围配置电路，形成能够独立工作且能与外围设备通信的传感器微系统。基于金属氧化微纳气体传感器，开发模块化的气体传感器微系统，性进行示范。
项目在工艺、技术、应用等各个方面的创新性，将使微纳气体传感器比现有市场的相关产品更具有优越性能。
希望与在传感器封装与测试方面有相关基础的高校展开产学研合作。团队应具有微纳气体传感器方面相关的封装、测试与模组开发经验。
